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  • 產品名稱:日本KOSAKA ET200 臺階儀

  • 產品型號: ET200
  • 產品廠商:其它品牌
  • 產品價格:0
  • 產品文檔: 日本KOSAKA ET200 臺階儀
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簡單介紹:
日本KOSAKA ET200 臺階儀,日本KOSAKA ET200 臺階儀配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。
詳情介紹:

日本KOSAKA ET200 臺階儀

日本KOSAKA ET200 臺階儀基于Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET 200 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。

日本KOSAKA ET200 臺階儀配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。

日本KOSAKA ET200 臺階儀規格
一、測定工件:
1. *大工件尺寸:φ160mm
2. *大工件厚度:50mm
3. *大工件重量:2kg
二、檢出器(pick up):
1. Z方向測定范圍:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3. 測定力: 10uN ~500uN
4. 觸針半徑:2 μm 60°
5. 驅動方式:直動式
6. 再現性:1σ= 1nm(全量程)、1um以下臺階重現性可達0.2nm以下
三、X 軸 (基準軸):
1. 移動量(*大測長):100mm
2. 移動的真直度:0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度:0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale):分解能 0.1μm
四、Z軸:
1. 移動量:50mm
2. 移動速度:max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能:0.1μm
五、工件臺:
1. 工件臺尺寸:φ160mm
2. 機械手動傾斜: ±2° (±1mm/150mm)
六、工件觀察:max.135 倍(可選購其它高倍率CCD)
七、床臺:材質為花崗巖石
八、防振臺(選購):落地型或桌上型
九、電源:AC220V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量:
W500×D440×H610mm, 120kg(不含防震臺)

KOSAKA LAB ET200微細形狀測定機(探針接觸式臺階儀)
株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于1950 年創立的公司,也是日本**家發表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為*具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。

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